LED如何制作?

LED通常通过在结晶晶片基板上沉积非常薄的高晶体层(外延层)的各种组合物而制造。由LED发出的波长由外延层的材料特性限定。沉积的原子遵循由基材提供的晶体模板,称为外延沉积的过程。对于大多数材料系统,有一个天然基质;例如,对于基于铝,铟和/或砷化镓合金的二极管,天然基质是砷化镓(GaAs),而硅衬底用于基于硅的二极管。

LED的基板

氮化铝(ALN)和氮化镓(GaN)合金通常用于制造在杀菌范围内发光的紫外LED发射光的光。在蓝宝石基材上制造深紫外线LED,通常用于蓝色和绿色IngaN LED,导致10多个8.脱位(缺陷)每平方厘米,相应地,寿命和效率降低。因此,氮化铝(AlN)衬底是减少深紫外LED中的脱位(缺陷)的关键。

水晶是优势

晶体是开创性的单晶氮化铝(ALN)基材的发展。接下来,水晶是科学家开发了用于在ALN基板上生长活性晶体层的专利方法,同时保留ALN的低缺陷密度。这些晶体(称为假形立方外延结构)表现出尖锐的界面,平滑表面,表面粗糙度小于一个纳米。当使用诸如蓝宝石的异物基板时,这些厚的假晶层和基于它们的装置是不可能的。

结果已被LED器件具有较高的效率,并且在250-280nm波长范围内的寿命更长,而不是由其他竞争技术制造的二极管,例如在蓝宝石上生长的晶体。2013年3月,我们宣布从连续波操作中的单个紫外线LED超过60兆瓦的光输出。

对于我们最近的技术出版物的紫外线,请参阅下文。



  1. 具有超过60 MW连续波输出功率,APP的270nm假形紫外发光二极管。物理。快递6(2013)032101
  2. 从260nm假形紫外线发光二极管换电力,具有改进的热性能,苹果。物理。快递4(2011)082101
  3. 散装铝氮化物基材,物理铝铝型紫外线发光二极管的可靠性和性能。状态SOLISI C 8,第5,528-1533(2011)
  4. 中紫外光发光二极管的性质,由散装铝氮化物基材上的假形图层制成,苹果。物理。表现3(2010)072103
  5. 散粒子基板上紫外线-C伪晶发光二极管的性能和可靠性。状态SOLIS C 7,No.7-8,2199-2201(2010)
  6. 氮化铝中ER3 +离子的电子顺磁共振,应用物理学杂志105,023714(2009)
  7. 电子应用的Aln散装生长和外延的进展,物理。Status Solidi A,1-7(2009)
  8. 厚N型AlxGA1-XN层对紫外线LED应用的低缺陷密度散装Aln基材的假晶生长,晶体生长311(2009)2864-2866
  9. 用于电子应用的大面积ALN基板:工业角度,晶体增长杂志310(2008)4020-4026

  10. 大直径的结构和表面表征,用于器件制造的晶体AlN基材,晶体生长杂志310(2008)887-890
  11. AlGaN的杂肝在深紫外发光二极管,Appl中的散装Aln基板。物理。字母91,051116(2007)
  12. 紫外半导体激光二极管在散装ALN,应用物理学报,101,123103(2007)
  13. 2英寸直径Aln单晶晶片的制造和表征从散装晶体中切割,母体。res。SOC。Symp。Proc。卷。955(2007)
  14. 原子力显微镜研究原生ALN基材,母体。res。SOC。Symp。Proc。卷。892(2006)
  15. 单晶ALN晶片,母体中的缺陷内容评估。res。SOC。Symp。Proc。卷。892(2006)
  16. 用于器件应用的本机,单晶ALN基板的开发,物理。统计。索尔。(a)203,7,1667-1671(2006)
  17. 氮化铝晶体中供体的电子顺磁共振,应用物理字母88,062112(2006)
  18. 表面声波速度在单晶ALN基板中,超声波,铁电和频率控制上的IEEE交易,Vol。53,不。1,(2006)